Kaya sing wis dingerteni, cara sing umum digunakake ing lapisan vakum yaiku transpirasi vakum lan sputtering ion.Apa bedane antarane lapisan transpirasi lan lapisan sputtering Akehwong duwe pitakonan kaya ngono.Ayo bareng karo sampeyan bedane antarane lapisan transpirasi lan lapisan sputtering
Film transpirasi vakum yaiku kanggo ngetokake data dadi transpirasi menyang suhu tetep kanthi cara pemanasan resistensi utawa sinar elektron lan cangkang laser ing lingkungan kanthi tingkat vakum ora kurang saka 10-2Pa, supaya energi getaran termal molekul utawa atom ing data ngluwihi energi naleni lumahing, supaya akeh molekul utawa atom transpirasi utawa nambah, lan langsung setor ing landasan kanggo mbentuk film.Lapisan sputtering ion nggunakake gerakan remonstrance dhuwur saka ion positif sing diasilake dening discharge gas ing efek medan listrik kanggo ngebom target minangka katoda, supaya atom utawa molekul ing target bisa lolos lan setor ing permukaan workpiece sing dilapisi kanggo mbentuk. film sing dibutuhake.
Cara sing paling umum digunakake kanggo lapisan transpirasi vakum yaiku metode pemanasan resistensi.Kaluwihan iku struktur prasaja saka sumber panas, biaya kurang lan operasi trep.Kekurangane yaiku ora cocok kanggo logam refraktori lan media tahan suhu dhuwur.Pemanasan sinar elektron lan pemanasan laser bisa ngatasi kekurangan pemanasan resistensi.Ing pemanasan berkas elektron, berkas elektron fokus digunakake kanggo langsung panas data shelled, lan energi kinetik berkas elektron dadi energi panas kanggo nggawe transpirasi data.Pemanasan laser nggunakake laser daya dhuwur minangka sumber pemanasan, nanging amarga biaya laser dhuwur, mung bisa digunakake ing sawetara laboratorium riset.
Skill sputtering beda karo skill transpirasi vakum.Sputtering nuduhake fénoména sing ngisi partikel bombard bali menyang lumahing (target) awak, supaya padhet atom utawa molekul sing dipancaraké saka lumahing.Umume partikel sing dipancarake yaiku atom, sing asring diarani atom sputtered.Partikel sputtered digunakake kanggo target shelling bisa elektron, ion utawa partikel netral.Amarga ion gampang entuk energi kinetik sing dibutuhake ing medan listrik, ion biasane dipilih minangka partikel shelling.
Proses sputtering adhedhasar pelepasan glow, yaiku, ion sputtering asale saka pelepasan gas.Katrampilan sputtering beda duwe cara discharge glow beda.DC diode sputtering nggunakake discharge cemlorot DC;Triode sputtering minangka discharge cemlorot sing didhukung dening katoda panas;RF sputtering nggunakake discharge cemlorot RF;Magnetron sputtering minangka discharge cemlorot sing dikontrol dening medan magnet annular.
Dibandhingake karo lapisan transpirasi vakum, lapisan sputtering duwe akeh kaluwihan.Yen zat bisa sputtered, utamané unsur lan senyawa karo titik leleh dhuwur lan tekanan uap kurang;Adhesion antarane film sputtered lan landasan apik;Kapadhetan film dhuwur;Kekandelan film bisa dikontrol lan repeatability apik.Kerugian yaiku peralatan kasebut rumit lan mbutuhake piranti voltase dhuwur.
Kajaba iku, kombinasi metode transpirasi lan metode sputtering yaiku ion plating.Kaluwihan saka cara iki adhesion kuwat antarane film lan landasan, tingkat deposisi dhuwur lan Kapadhetan dhuwur saka film.
Wektu kirim: Mei-09-2022