Tujuan reresik target yaiku mbusak bledug utawa rereget ing permukaan target.Saiki, editor Rich Special Material Co., LTD.(RSM) bakal nuduhake karo sampeyan babagan papat langkah kanggo ngresiki target logam:
Langkah pisanan yaiku ngresiki nganggo kain alus sing bebas lint sing direndhem ing aseton;
Langkah kapindho padha karo langkah pisanan, ngresiki nganggo alkohol;
Langkah 3: ngresiki nganggo banyu deionisasi.Sawise dikumbah nganggo banyu deionisasi, target dilebokake ing oven lan dikeringake ing suhu 100 ℃ suwene 30 menit.Sasaran oksida lan keramik kudu di resiki nganggo "kain bebas serat".
Langkah kaping papat yaiku ngumbah target nganggo argon kanthi tekanan dhuwur lan gas banyu sing kurang kanggo mbusak kabeh partikel impurity sing bisa mbentuk busur ing sistem sputtering.
Cathetan: nalika nangani target, gunakake sarung tangan pangopènan sing resik lan bebas lint kanggo nyegah kontak langsung karo target kanthi tangan.
Wektu kirim: Jun-24-2022