Akeh kanca bab pangopènan target ana pitakonan luwih utawa kurang, bubar ana uga akeh pelanggan Consulting bab pangopènan masalah related target, ayo editor RSM kanggo kita kanggo nuduhake babagan sputtering kawruh pangopènan target .
Kepiye carane kudu njaga target sputter?
1. Target pangopènan
Supaya ora short circuit lan arcing disebabake growong najis ing proses sputtering, iku perlu kanggo periodik mbusak sputters akumulasi ing tengah lan loro-lorone saka trek sputtering, kang uga mbantu kedhaftar kanggo terus-terusan sputter ing Kapadhetan daya dhuwur.
2. Target panyimpenan
Disaranake pangguna nyimpen target (apa logam utawa keramik) ing kemasan vakum, utamane target sing pas kudu disimpen ing vakum kanggo nyegah oksidasi lapisan pas saka mengaruhi kualitas pas.Minangka kanggo packaging target logam, kita suggest sing padha kudu dikemas ing tas plastik resik paling.
3. Target cleaning
Langkah pisanan yaiku ngresiki nganggo kain alus sing bebas lint sing direndhem ing aseton;
Langkah kapindho padha karo langkah pisanan, ngresiki nganggo alkohol;
Langkah 3: ngresiki nganggo banyu deionisasi.Sawise diresiki nganggo banyu deionisasi, target dilebokake ing oven lan dikeringake ing suhu 100 ℃ suwene 30 menit.Disaranake nggunakake "kain bebas serat" kanggo ngresiki target oksida lan keramik.
Langkah kaping papat yaiku ngumbah target nganggo argon kanthi tekanan dhuwur lan kelembapan sing sithik kanggo mbusak partikel sing ora murni sing bisa nyebabake busur ing sistem sputtering.
4. Priksa sirkuit cendhak lan sesak
Sawise target dipasang, kabeh katoda kudu dipriksa kanggo sirkuit cendhak lan sesak.Disaranake kanggo ngadili apa ana short circuit ing cathode kanthi nggunakake meter resistance lan megger.Sawise ngonfirmasi manawa ora ana sirkuit cendhak ing katoda, pamriksaan bocor banyu bisa ditindakake, lan banyu bisa dilebokake ing katoda kanggo nemtokake manawa ana bocor banyu.
5. Packaging lan transportasi
Kabeh target dikempalken ing kantong plastik sing disegel vakum kanthi agen tahan kelembapan.Paket njaba biasane kothak kayu kanthi lapisan anti tabrakan kanggo nglindhungi target lan backplane saka karusakan sajrone transportasi lan panyimpenan.
Wektu kirim: Jul-15-2022