Lapisan vakum nuduhake panas lan nguap sumber penguapan ing vakum utawa sputtering karo bombardment ion digawe cepet, lan depositing ing lumahing landasan kanggo mbentuk film siji-lapisan utawa multi-lapisan.Apa prinsip lapisan vakum?Sabanjure, editor RSM bakal ngenalake kita.
1. Lapisan penguapan vakum
Lapisan penguapan mbutuhake jarak antarane molekul uap utawa atom saka sumber penguapan lan landasan sing bakal dilapisi kudu kurang saka jalur bebas rata-rata molekul gas sisa ing ruangan lapisan, supaya bisa njamin molekul uap saka lapisan kasebut. penguapan bisa tekan lumahing substrat tanpa tabrakan.Priksa manawa film kasebut murni lan kuwat, lan penguapan ora bakal ngoksidasi.
2. Vakum sputtering nutupi
Ing vakum, nalika ion akselerasi tabrakan karo padhet, ing tangan siji, kristal rusak, ing tangan liyane, tabrakan karo atom sing mbentuk kristal kasebut, lan pungkasane atom utawa molekul ing permukaan padhet. nyembur metu.Bahan sputtered dilapisi ing substrat kanggo mbentuk film tipis, sing diarani vakum sputter plating.Ana akeh cara sputtering, ing antarane dioda sputtering minangka sing paling wiwitan.Miturut target cathode beda, bisa dipérang dadi saiki langsung (DC) lan frekuensi dhuwur (RF).Jumlah atom sputtered dening impact lumahing target karo ion disebut sputtering rate.Kanthi tingkat sputtering dhuwur, kacepetan tatanan film cepet.Tingkat sputtering ana hubungane karo energi lan jinis ion lan jinis materi target.Umumé, tingkat sputtering mundhak kanthi tambah energi ion manungsa, lan tingkat sputtering logam mulia luwih dhuwur.
Wektu kirim: Jul-14-2022