Target dikempalken ing kantong plastik vakum pindho.Kita nyaranake supaya pangguna nyimpen target, apa logam utawa keramik, ing kemasan vakum, utamane target ikatan kudu disimpen ing vakum supaya ora oksidasi lapisan ikatan sing mengaruhi kualitas ikatan. syarat minimal iku kanggo Pack mau ing tas plastik resik.Ing ngisor iki penulis Beijing Richmat kanggo nuduhake karo sampeyan babagan apa paduan target panyimpenan lan katrampilan pangopènan
Katrampilan pangopènan babagan target alloy kaya ing ngisor iki:
Supaya ora short circuit lan busur amarga growong najis ing proses sputtering, iku perlu kanggo mbusak tengah trek sputtering lan loro-lorone saka akumulasi sputtering, kang uga mbantu kedhaftar kanggo terus Kapadhetan daya maksimum sputtering.
Langkah 1: Resik nganggo kain bebas bulu sing direndhem ing aseton;
Langkah 2: Resik nganggo alkohol padha karo langkah 1;
Langkah 3: Cuci nganggo banyu deionisasi.Sawise diresiki nganggo banyu deionisasi, target dilebokake ing oven nganti garing ing suhu 100 derajat Celsius suwene 30 menit.Sasaran oksida lan keramik diresiki nganggo "kain flannelless".
Langkah 4: sawise njabut area mbledug, argon karo tekanan dhuwur lan gas Kelembapan kurang digunakake kanggo flush target kanggo mbusak kabeh partikel impurity sing bisa mbentuk busur ing sistem sputtering.
Wektu kirim: Jun-07-2022